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丽水镀膜设备-真空镀膜设备-至成真空科技

时间:2021-10-03 05:45 来源:网络整理 转载:dedecmc资讯网
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真空镀膜设备需要的环境要求

真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。

这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,破坏了泵的抽气性能。

工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合,而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体,凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准,从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。

真空镀膜机薄膜均匀性概念

1.厚度上的均匀性:也能够理解为粗糙度,在光学薄膜的标准上看(也即是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜机的均匀性现已相当好,能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内,也即是说关于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何妨碍。

2.化学组分上的均匀性:即是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于标准过小而很简单的发生不均匀特性,SiTiO3薄膜,假如镀膜进程不科学,那么实践外表的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的份额,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技能含量地点。

3.晶格有序度的均匀性:这决议了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技能中的热点问题。

真空镀膜机的结构与工作原理介绍

一、真空镀膜机的结构:

真空卷绕镀膜机由真空罐、真空抽气系统、蒸发系统、卷绕系统、冷却系统及电气系统组成。

真空罐是整台真空镀膜设备的主体部件,其结构为圆柱形筒体,左端为圆形封头封闭,右端的法兰与卷绕车的大圆板对接实现密封。

外部联接抽气管道,内部空间用于在真空状态中镀制产品,分为上下室,上室是基材卷绕室,下室是铝丝蒸发镀膜室。

二、真空镀膜机的工作原理:

真空罐的正面中上部装有可供观察基材运行情况和观察镀层质量的长方形观察窗,正面中下部装有可供观察送丝情况和蒸发舟加热状态的长方形观察窗,同时还装有可供观察收料轴、放料轴运转状况的圆形视窗各一个。

真空罐的背面中下部开有一方形的蒸发镀膜室抽气口,尾部圆封头处开有一圆形的卷绕室抽气口。真空罐的底部装有水箱,用于罐体的冷却,顶部装有真空测量规管用于测量真空室内的压力。

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