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丽水磁控镀膜机镀膜方法

时间:2021-10-03 05:44 来源:网络整理 转载:dedecmc资讯网
丽水磁控镀膜机镀膜方法 「无锡光润真空科技供应」磁控溅射是一种涉及气态等离子体的沉积技术,该等离子气体被生成并限制在一个包含要沉积的材料的空间内,溅射

磁控溅射是一种涉及气态等离子体的沉积技术,该等离子气体被生成并限制在一个包含要沉积的材料的空间内,溅射靶材的表面被等离子体中的高能离子侵蚀,释放出的原子穿过真空环境并沉积在基板上以形成薄膜。影响磁控溅射镀膜结果的因素: 1、溅射功率的影响,在基体和涂层材料确定的情况下,工艺参数的选择对于涂层生长速率和涂层质量都有很大的影响。其中溅射功率的设定对这两方面都有极大的影响。 2、气压的影响,磁控溅射是在低气压下进行高速溅射,为此需要提高气体的离化率,使气体形成等离子体。在保证溅射功率固定的情况下,分析气压对于磁控溅射的影响。磁控溅射靶表面不均匀刻蚀。丽水磁控镀膜机镀膜方法

磁控溅射工艺具备以下特点: 1、沉积速率大。由于采用高速磁控电极,可获得的离子流很大,有效提高了此工艺镀膜过程的沉积速率和溅射速率。与其它溅射镀膜工艺相比,磁控溅射的产能高、产量大、于各类工业生产中得到普遍应用。 2、功率效率高。磁控溅射靶一般选择200V-1000V范围之内的电压,通常为600V,因为600V的电压刚好处在功率效率的较高有效范围之内。 3、溅射能量低。磁控靶电压施加较低,磁场将等离子体约束在阴极附近,可防止较高能量的带电粒子入射到基材上。 4、基片温度低。可利用阳极导走放电时产生的电子,而不必借助基材支架接地来完成,可以有效减少电子轰击基材,因而基材的温度较低,非常适合一些不太耐高温的塑料基材镀膜。丽水磁控镀膜机镀膜方法膜层的附着力、重复性、致密度、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。

伴随碰撞频次的增多,电子能量会逐渐变弱,电子也慢慢远离靶面。低能电子会沿着磁力线来回振荡,直至电子能量快耗尽的时候,受电场影响而终会沉积于基材上。因为该电子的能量较弱,所以传给基材的能量较低,基材的温升作用不大。位于磁极轴线处的电场跟磁场相互间平行,第二类电子将直接飞向基片。但是,在磁控溅射镀膜设备中,磁极轴线处离子电流密度低,所以对于第二类包括电子****很少,让基片温升效果较差。磁控溅射镀膜设备的基本原理是通过磁场使电子运动的方向改变,通过对电子的运动路径的延长及区域范围束缚,来增加电子的电离概率,更好地使电子的能量利用更有效,这便是磁控溅射技术的“高速”和“低温”的特性机理。设备始于1974年时J. 产品的研发成果,当时磁控溅射镀膜设备一经研发,其相较于别的镀膜工艺显得优越性较为突出,设备适用范围极广,可在任何基材上镀上任何物料的膜层。

以下从几个方面叙述镀膜机性质:①一般性:要求系统在一定范围内是适用或者普遍存在的。对于本课题来说,系统能够满足工业上平板基片溅射镀膜的基本工艺要求,即溅射镀膜工艺过程的共性问题。②特殊性:系统对特定研究对象达到较佳的适用性。针对大面积平板基片溅射镀膜来说,就是溅射镀膜中的****效应成为系统重要部分,如薄膜均匀性,基片加热的均匀性,材料的线性膨胀和变形,靶面的电流分布,气体分布和电磁场分布等。这一系列问题被****效应突显出来。因此****效应成为系统的个性问题。真空磁控溅射镀膜工艺现已用于大面积基材的镀膜当中。

磁控溅射镀膜是现代工业中不可缺少的技术之一,磁控溅射镀膜技术正普遍应用于****导电膜、光学膜、超硬膜、抗腐蚀膜、磁性膜、增透膜、减反膜以及各种装饰膜,在国防和国民经济生产中的作用和地位日益强大。镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性,沉积速率,靶材利用率等方面的问题是实际生产中十分关注的。解决这些实际问题的方法是对涉及溅射沉积过程的全部因素进行整体的优化设计,建立一个溅射镀膜的综合设计系统。薄膜厚度均匀性是检验溅射沉积过程的较重要参数之一,因此对膜厚均匀性综合设计的研究具有重要的理论和应用价值。磁控靶电压施加较低,磁场将等离子体约束在阴极附近,可防止较高能量的带电粒子入射到基材上。丽水磁控镀膜机镀膜方法

磁控溅射工艺还用于卷绕工艺中用于包装膜、光学膜、贴膜等膜层镀制。丽水磁控镀膜机镀膜方法

建立溅射镀膜综合设计系统是势在必行的。系统的建立可按照由整体综合设计展开到部分设计,然后,再由部分设计逐步深入到整体综合设计,即“整体到部分,再到整体”这一动态设计理念,不断完善设计系统。将溅射镀膜所涉及的重要因素列举出来,找出它们之间的内在联系,进而建立溅射镀膜综合设计系统,在此基础上进行膜厚均匀性研究,并为后期转化为设计系统软件做铺垫,来实现制备薄膜均匀性好的大面积薄膜,为生产****有力的保障。溅射镀膜膜厚均匀性是间接衡量镀膜工艺的之后标准之一,它涉及镀膜过程的各个方面。因此,制备膜厚均匀性好的薄膜需要建立一个溅射镀膜膜厚均匀性综合设计系统,对溅射镀膜的各个方面进行分类、归纳和总结,找出其内在联系。一般来说,设计系统的建立应该具备一定的原则,以确定其基本的**框架。丽水磁控镀膜机镀膜方法

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